プラズマクリーナーは密度が重要

プラズマクリーナーは、プラズマ現象を利用して素材表面の有機物を除去することができます。プラズマは気体に高いエネルギーを与え続けることによって分子が不安定となることで発生します。その現象は局所的で、発生している部分でしか有機物を除去することができません。また気体によって発生することから、密度を保った状態で均一な状態を作り出すことが重要になります。

よくあるプラズマクリーナーは、チャンバーと呼ばれる庫内に製品を設置して、その中でプラズマを発生させて処理を行います。庫内の容積が大きければそれだけ密度にむらが出やすくなり、均一に除去できない恐れが懸念されます。そのため容積をなるべく小さくして密度の高い状態を作り出すこと重要です。ただし、それでは処理できる素材の大きさが制限されてしまいます。

また一度に処理できる量も少なくなるので、素材を庫内に出し入れの作業が手間になることも考えられます。効率よく処理を行うために走査型のプラズマクリーナーもあります。プラズマが発生するのはプローブの先端だけで、処理すべき素材の上をもれなく操作することで密度の高い状態を維持しながら処理を行うことが可能です。この方法であれば、大型のものでも対応が可能です。

ただし平面でないと動きが複雑になったり。走査の範囲からずれてしまうなどのリスクも高くなります。対応すべき素材の状態を考えて、最も密度が高い方法を選択することが重要です。

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