製品の品質を高めるプラズマクリーナーとは

プラズマクリーナーは半導体など精密機器の品質や生産性を向上させる役割を果たしています。精密機器の製造過程では様々な汚染や副生成物が生じており、ドライ洗浄やウェット洗浄で除去する必要があります。ドライ洗浄はプラズマクリーナーのように薬液を使わない方法で、ウェット洗浄は薬液を使用します。薬液を使った場合には、汚れを除去した後でリンスを使用して薬液を洗い流し製品を乾燥させなければなりません。

リンスを用意するのにコストがかかるだけでなく、洗い流したり乾燥させるのに手間がかかります。ドライ洗浄ならば薬液を使わないため、コストや手間を省いて効率的に汚れを除去できます。プラズマクリーナーにはアルゴン原子を使うタイプと、酸素分子を使うタイプが存在します。アルゴン原子を使うタイプはRIEモードと呼ばれており、有機物や無機物で構成されている汚れを物理的に取り除きます。

酸素分子を使うタイプはDPモードと呼ばれていて、酸素原子を有機物と化学反応させます。化学反応によって有機物は二酸化炭素と水分子になり、最終的に真空ポンプで外部に排出されます。RIEモードとDPモードは、いずれも減圧されたチャンバー内で高周波電力によって電極間に印加します。プラズマを発生させて汚れを落とす点は共通していますが、具体的な仕組みと処理対象となる汚れの種類に違いが存在します。

最適なタイプのプラズマクリーナーを選べば効率的に汚れを除去することができ、製品の品質や生産性を向上させることができます。

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