プラズマクリーナーが重要な役割を果たしています

半導体や電子デバイス、レンズや医療機器など精密機器を製造する現場では微細な汚れを除去するプラズマクリーナーは重要な役割を果たしています。プラズマクリーナーはドライ洗浄装置の一種で、ウェット洗浄のように薬液を使いません。薬液を使わないドライ洗浄では、リンスで薬液を洗い流す必要がないため工程数が少なくなります。製品の表面に付着した汚れを、少ないコストで素早く除去できるというメリットが存在します。

半導体など精密機器の品質や生産性を向上させるために、プラズマクリーナーは欠かせないものとなっています。プラズマクリーナーは、処理方式の違いによってRIEモードとDPモードの2種類に分類できます。RIEモードもDPモードも、減圧されたチャンバー内で高周波電力を電極間に印加してプラズマを発生させます。前者はアルゴン原子を使って物理的にイオンを汚れにぶつけて除去し、後者は酸素分子を化学反応させて汚れを取り除く点に違いがあります。

RIEモードでは高周波電力によってアルゴンイオンと電子が生じます。アルゴンイオンはイオンシースと呼ばれる加速領域で速度を増し、サンプル表面の有機物や無機物に衝突して弾き飛ばします。この方式では有機物と無機物の両方の汚れを、物理的に弾き飛ばして除去することが可能です。DPモードでは高周波電力によって酸素原子が生じ、サンプル表面の有機化合物と化学反応を起こして二酸化炭素や水分子になります。

この方式では有機物による汚れが二酸化炭素や水分子となり、真空ポンプを使って外部に排出されます。

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