プラズマクリーナーは生産性を向上させます

プラズマクリーナーは半導体などの精密機器を作る際に、薬液などを使わず効率的に微細な汚れを落とすことができる装置です。半導体などの精密機器は製造過程で汚染や副生成物が生じており、製品の品質を高めるには何らかの方法で除去しなければなりません。精密機器に付着した細かな汚れには有機物と無機物があり、薬液を使って洗い落とす方法はウェット洗浄と呼ばれています。ウェット洗浄では薬液を使うので、汚れを落とした後にリンスで薬液も洗い落として乾燥させなければなりません。

プラズマクリーナーのように薬液を使わない洗浄方法はドライ洗浄と呼ばれており、ウェット洗浄よりも効率的に汚れを落とせるので生産性が向上します。半導体や電子デバイス、医療機器やレンズなどの精密機器を製造する工場ではプラズマクリーナーが不可欠な存在です。製造過程で生じる汚れには有機物と無機物があり、種類に応じて最適なプラズマクリーナーを選んで使うことになります。プラズマを利用して汚れを処理する方式にはRIEモードとDPモードの2種類が存在します。

前者はアルゴンイオンを有機物や無機物に衝突させ、物理的に弾き飛ばすことで汚れを取り除きます。後者は酸素原子を有機物と化学反応させて二酸化炭素と水分子に変え、真空ポンプで外部に排出します。RIEモードとDPモードはいずれもプラズマを利用して微細な汚れを除去しますが、処理できる汚れに違いがあります。有機物と無機物の両方を処理したい場合はRIEモード、有機物のみを処理したい場合にはDPモードのプラズマクリーナーを選ぶと効率的に汚れを除去できます。

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