プラズマクリーナーの仕組みついて

プラズマとは、本来は原子核の周囲を電子が回る構造をしている原子が高温にさらされる等の原因により、原子核と電子に分離してしまった状態を指します。プラズマクリーナーはこのプラズマを用いて、半導体やレンズ、医療器具等の表面をドライ洗浄する産業機械です。表面を洗浄すると印刷やコーティングが容易になるため、製造物の品質は勿論、生産性の向上にも寄与します。特に構造の微細化が進む半導体産業において、それ以上に微細なプラズマを用いるプラズマクリーナーは注目されている技術です。

プラズマクリーナーには主にRIEモード(アルゴン)とDPモード(酸素)の2通りの方式があります。RIEモード(アルゴン)はアルゴンのプラズマで洗浄を行うモードです。まず、真空室の中に充填したアルゴン原子を高周波電場にさらすことでプラズマ化します。次に洗浄対象をマイナスに電化します。

すると、プラスの電荷をもつアルゴン原子核が洗浄対象に引き寄せられ衝突、表面の不純物が吹き飛ばされます。DPモード(酸素)は真空室内でプラズマ化した酸素により、洗浄を行う方式です。RIEモード(アルゴン)とは異なり、表面の不純物を吹き飛ばすのではなく、汚れを酸化する(化学反応により二酸化炭素や水にする)ことによって洗浄を行います。発生した二酸化炭素や水は真空ポンプで外に排出します。

酸化によって二酸化炭素や水が発生する有機物の汚れに対してのみ、効果があります。

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