プラズマクリーナーは細かい汚れを効果的に除去します

プラズマクリーナーとは、薬液を使わずに微細な汚れを洗い流すドライ洗浄を行うための装置です。ドライ洗浄は半導体などの表面に付着した汚染や副生成物を除去する技術で、薬液を使わないためウェット洗浄と比べて工程が少ないというメリットがあります。プラズマクリーナーの他にも、紫外線とオゾンを使ってドライ洗浄を行う装置などが存在します。半導体や電子デバイス、医療器具やレンズなどを製造する場合には細かな汚れを確実に除去しなければなりません。

プラズマクリーナーを使えば効果的に細かな汚れを除去し、製品の品質や生産性を大幅に向上させることができます。実際にプラズマを使って汚れを落とす方式には、RIEモードとDPモードの2種類があります。前者はアルゴン原子を使い、後者は酸素分子を使いますが減圧したチャンバー内で高周波電力を電極間に印加する点では同じです。RIEモードではアルゴンイオンと電子が生じますが、イオンはイオンシースで加速されてサンプル上の無機物や有機物に衝突します。

加速したイオンが物理的に無機物や有機物に衝突し、弾き飛ばすことで汚れを除去する仕組みになっています。DPモードでは酸素分子が酸素原子となり、サンプル表面に付着した有機化合物と化学反応を起こします。有機物で構成された汚れは化学反応によって水分子と二酸化炭素になり、真空ポンプで外部に排気される仕組みです。プラズマクリーナーには処理方式の違いによってRIEモードとDPモードの2種類があり、汚れの種類に応じて使い分けられています。

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