プラズマクリーナーの特徴

プラズマクリーナーはプラズマ装置とも言い、半導体や電子デバイスの製造を行う会社でよく使用されている機器です。半導体や電子デバイスを製造する際に必要なのは、ほこりなどの除去であり、プラズマクリーナーは半導体など複雑で小さなチップを洗浄するために使用します。プラズマクリーナーには様々な種類がありますが、主にポリイミドを残渣除去する、表面改質を向上させる、レジストを剥離するなどの働きがあり、マイクロ研磨や界面活性、皮膜の除去など様々なことができるものが多いです。大きさも小型のものから大気圧のものまであり、用途に合わせて選ぶことが可能となります。

小型のプラズマクリーナーは高性能ながら低コストであり、卓上に置くことができる大きさです。主に実験の際に使用することができ、気軽に使用できるメリットがあります。中型になると電極サイズが面積比で小型の2倍ほどになるので、さらに様々なシーンで使用することが可能となります。サブストレート基板の表面洗浄や封止樹脂との高度な密着性、金属酸化物のエッチングや濡れ性の改善などが可能です。

大気圧になるとさらに多くの場所が必要となりますが、その分減圧設備が不要となることが多いのでトータルして考えると省スペース化を図ることができます。また減圧槽がいらないことが多いためより面積の広い基板を扱うことができ、生産ラインへの設置が可能です。プラズマクリーナーをどの程度使用するかによって大きさや性能を選ぶと使いこなすことができます。

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