細かい汚れはプラズマクリーナーで除去できます

プラズマクリーナーは薬液などを使わず効率的に細かな汚れを除去できますが、処理方式の違いによってRIEモードとDPモードの2種類があります。前者は有機物と無機物の両方に対応しており、後者は有機物のみに対応しています。RIEモードはアルゴンイオンを加速して有機物や無機物に衝突させ、物理的に汚れを弾き飛ばすという特徴があります。一方でDPモードは酸素原子が有機化合物と化学反応を起こし、生成された水分子と二酸化炭素は真空ポンプを使って外部に排出します。

有機物と無機物で構成される汚れが生じる場合にはRIEモードが適していますが、有機物のみで構成された汚れが生じている場合にはDPモードが適しています。プラズマクリーナーには処理方式の違いによって異なるタイプが存在するものの、減圧されたチャンバー内で高周波電力を電極間に印加する仕組みは同じです。いずれのモードでも薬液などを使わないため、ウェット洗浄を行う場合よりも工程が少なく効率的に汚れを除去できます。半導体や電子デバイスなどの精密機器を製造する過程では、様々な汚染や副生成物が発生します。

表面に付着した細かな汚れを除去しなければ、高品質な製品を作ることができず生産性も低下してしまいます。プラズマクリーナーを使えば製品の表面に付着した汚れを落とすことができるだけでなく、品質や生産性を向上させることができます。半導体などの精密機器を製造する現場において、細かな汚れを効率的に除去できるプラズマクリーナーは不可欠な存在となっています。

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