プラズマ洗浄装置内で起こっている現象とは?

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プラズマ洗浄装置洗浄

素材の表面の有機物を完全に近い割合で除去できるプラズマ洗浄装置は、効率よく製造するためには欠かせないツールです。目に見えない状態で行われる洗浄はどのようになっているのでしょうか。庫内で発生しているプラズマ現象とは、どんなものなんでしょうか。いろいろと疑問がありますが、わかっていなくてもきれいに仕上がります。

正しい知識があれば、さらに重要性がわかるはずです。プラズマ洗浄装置は、名前のとおりプラズマ現象を利用して洗浄を行う装置です。この現象は、気体に高エネルギーを与えることで発生します。気体はエネルギーを与えられることによって活性化して電子を励起した状態です。

原子のレベルで不安定な状態となり、周りにある物質に働きかけて電子を奪おうとします。このような不安定な気体が存在している状態がプラズマ現象です。プラズマ洗浄装置の庫内では、効率よく洗浄できるように陰圧にして真空に近い状態にします。気体の種類が複数あると発生がまばらとなり、洗浄も均一性が保証できません。

そこで安定した気体だけを庫内に充満させて、そこに高エネルギーをかけて現象を発生させます。発現したらそれを維持して洗浄を行います。プラズマの中にあれば洗浄効果が期待できるので、対流したり、動かすようなことも必要ありません。完了したら庫内を大気圧に戻し、製品を取り出せば完了です。

最もきれいな状態になっているので、汚れないうちにコーティングなどの次の工程に進めます。

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