プラズマ洗浄装置とは

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プラズマ洗浄装置洗浄

プラズマ洗浄装置とは、プラズマの持つ高いエネルギーや反応性を利用して対象物の表面にある目に見えないくらいの微細な汚れを弾き飛ばしたり、あるいは化学反応により分解除去したりすることを目的とする、主に産業用の装置です。洗浄というと、水などの液体と洗剤のような界面活性剤を使って洗い落とすことというのが一般的な意味ではありますが、プラズマ洗浄装置ではあくまで比ゆ的な意味で用いられているにすぎず、こちらでは水も洗剤も使いません。というか、水や洗剤が使えないような物に対して使われることが普通です。例えば電子機器に使われるような部品は、水をかけるとショートしてしまって使い物にならなくなるかもしれません。

洗浄の中には水を使わずに有機溶剤で行うものもありますが、例えば溶剤の中にごくわずかに含まれるレベルの不純物が対象の表面に付着してしまうことすら問題になるような、極めて高度な綺麗さが求められる場面ではこの方法はそもそも使うことができず、プラズマ洗浄装置の出番となることがあるのです。ちなみにプラズマとは何かということですが、放電のようなものと思ってもらえばまずまず間違ってはいないでしょう。粒子がイオン化しており、高いエネルギーを持っているために、表面にあるごく微小な不純物であっても弾き飛ばしたりできます。あるいは、高いエネルギーを持つ酸素原子が表面に付着した不純物と反応し、酸化分解して除去する原理を持つものもあります。

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