精密機器の工場で必要とされるプラズマ装置とは

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プラズマ装置工場/機械清掃

精密機器の工場で、製品の品質や生産性を向上させるために重要な役割を担っているのがプラズマ装置です。プラズマとは分子がプラス電荷のイオンと、マイナス電荷の電子に分かれた状態を指します。物質にエネルギーを与え続けると固体から液体、気体へと変化して最後にプラズマになります。物質の第4の状態とも呼ばれていて自然界では太陽や稲妻、オーロラなどが代表的な存在です。

宇宙を構成する物質の99%以上がプラズマであるとされており、人工のプラズマは照明器具や加工技術に利用されています。気体にエネルギーを与え続けると分子から原子が離れ、さらに原子から電子が離れてプラズマになります。プラズマ装置にはRIEモードとDPモードという2種類の処理方式があり、いずれも10Pa以下に減圧されたチャンバー内で高周波電力を電極間に印加します。RIEモードはアルゴン原子が電離されてアルゴンイオンになり、加速して精密機器の表面に付着する有機物や無機物に衝突させます。

DPモードは酸素分子から酸素原子が離れ、有機物と化学反応を起こして水分子と二酸化炭素に変えます。プラズマ装置はRIEモードが物理的に有機物と無機物を弾き飛ばすのに対して、DPモードは化学反応によって有機物を水分子と二酸化炭素に変えて取り除きます。薬品を使わないので後から洗い流して乾燥させる必要がなく、生産性を向上させることが可能です。高品質な製品を素早く製造できるため、プラズマ装置は精密機器の工場で必要とされています。

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