高品質な製品を短い納期で納品できるプラズマ装置

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プラズマ装置工場/機械清掃

企業が利益を増やすためには、売上の増加を図る一方でコストを削減しなければなりません。より魅力的な商品を製造・販売するのと同時にコスト削減を図り、価格もなるべく安く抑えるのが理想的です。半導体など精密機器を製造する場合には、必ず有機物や無機物で構成された微細な汚れが発生します。製品の品質を向上させて顧客満足度を高めるには、製造過程で生じる様々な汚れを除去しなければなりません。

プラズマ装置は少ない工程で精密機器の表面に付着した汚れを取り除くことができるので、品質だけでなく生産性の向上にも貢献します。この装置はプラズマが発生する過程で生じるイオンや原子を使い微細な汚れを除去しますが、2種類の異なる処理方式があります。RIEモードは加速したアルゴンイオンを有機物と無機物に衝突させて弾き飛ばします。DPモードは酸素分子から分かれた酸素原子が有機物と化学反応を起こし、水分子と二酸化炭素に変えます。

水分子と二酸化炭素になった有機物は真空ポンプで排気されます。RIEモードは有機物と無機物の両方に対応可能ですが、DPモードは有機物のみに対応しています。状況に応じて異なる種類の処理方式を使い分けると、効果的に精密機器の表面に付着した汚れを除去できます。プラズマ装置は薬液を使わないため洗浄や乾燥などの工程が不要で、短期間で高品質な製品を納品できます。

品質や生産性を向上させる一方で人件費を削減できるので、製品の価格を抑えることも可能です。精密機器メーカーが売上の増加とコスト削減を図る上で、プラズマ装置は不可欠な存在となっています。

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