精密機器の製造にはプラズマ洗浄装置が必要です

半導体や電子デバイスなど精密機器を作るためには、製造過程で生じる微細な汚れを何らかの方法で取り除かなければなりません。細かな汚れを取り除く方法にはドライ洗浄とウェット洗浄の2種類に分類できますが、後者は薬液を使うため工程数が多くなってしまいます。ドライ洗浄とは薬液を使わない洗浄方法で、汚れを取り除いた後にリンスで薬液を洗い流して乾燥させる必要がありません。ウェット洗浄と比べてドライ洗浄は生産性が優れているという特徴があります。

自然界で見られるオーロラや稲妻、太陽はプラズマの代表的な存在ですが実際には宇宙を構成する99%以上の物質がプラズマであるとされます。人工のプラズマは蛍光灯などの照明器具やプラズマ処理機などに使われています。少ない工程で高品質な精密機器を作るため、製造業の現場ではプラズマ洗浄装置を欠かすことができません。プラズマ洗浄装置はアルゴンイオンや酸素原子を使い、有機物や無機物で構成された細かい汚れを素早く取り除くことができます。

加速したアルゴンイオンを有機物や無機物に衝突させて弾き飛ばすタイプは、RIEモードと呼ばれます。酸素原子と有機物の間で化学反応を起こし、水分子と二酸化炭素に変えるタイプはDPモードです。気体にエネルギーを与え続けると分子から原子が離れ、さらに原子から原子核が離れます。最終的に分子がプラス電荷のイオンと、マイナス電荷の電子に分かれた状態がプラズマです。

プラズマ洗浄装置はプラズマの発生途中で生じるアルゴンイオンや酸素原子を使い、精密機器の表面に付着した汚れを効果的に除去できます。

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