プラズマ装置について説明します

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プラズマ装置工場/機械清掃

ここでは、プラズマ装置について説明します。プラズマ装置に関する情報研究開発から加工まで、超微細加工・表面処理・改質などのニーズにお応えることが可能です。プラズマ装置は、半導体・電子材料・ドライクリーニングなどの幅広い分野で使用されています。たとえば、シリコンウェーハのレジストストリッピング、有機膜の除去・表面活性・マイクロポリッシング・炭素膜の除去などに対応可能です。

このように、プラズマ装置には幅広い効果があります。サイエンスメーカーは、研究開発だけでなくプロセスのニーズにも応えるプラズマ機器を提供しています。では、プラズマ装置(プラズマクリーナーとも呼ばれます)とは何でしょうか。半導体電子デバイス製造プロセスでのアッシングやエッチングなど、ドライクリーニングプラズマ技術で環境を保護可能です。

それは、レンズ・医療器具・チューブ・粉体洗浄・表面改質により変更します。これは、印刷物やコーティング材の密着性(親水性)を向上させます。このデバイスは、生産性と品質を大幅に向上させることを目的としています。装置の役割は、小型化が加速している半導体など、電子材料やドライクリーニングの分野で注目を集めています。

たとえば、シリコンウェーハのレジストストリッピング、ポリイミド残留物の除去、表面改質、濡れ性の改善、ICパッケージの組立工程で有機物や無機物を除去することで優れた特性を発揮します。ヤマトマテリアルは、ドライクリーニング、エッチング、灰化処理に適しています。各種減圧・低温装置のほか、ローダー・アンローダー付き自動機や大気圧装置も取り扱っており、標準品だけでなく特注品も取り扱っております。プラズマ装置のことならこちら

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