プラズマ装置には異なる仕組みのものがあります

by:

プラズマ装置工場/機械清掃

プラズマ装置はプラズマが発生する過程で生じた原子やイオンを使い、精密機器の表面に付着している汚れを取り除きます。この装置には主にアルゴンガスを使うRIEモードと、主に酸素ガスを使うDPモードの2種類が存在します。前者は有機物と無機物の両方に対応可能ですが、後者は有機物のみに対応しています。精密機器を製造する現場では様々な異物が発生しており、種類に応じて最適な処理方式を選ぶ必要があります。

プラズマ装置は処理方式の違いに関わらず、大気圧から10Pa以下に減圧されたチャンバー内で高周波電力を電極間に印加する点は同じです。ただしRIEモードでは20Paほどで印加しますが、DPモードだと80Paから130Paほどで印加します。気体に過剰なエネルギーを与えると、電離されてプラス電荷のイオンとマイナス電荷の電子になります。分子がイオンと電子に分かれた状態がプラズマで、物質の第4の状態とも呼ばれます。

DPモードのプラズマ装置では気体に過剰なエネルギーを与え、分子から離れた原子と異物との間で化学反応を起こします。酸素原子と化学反応を起こした異物は、水分子や二酸化炭素になり真空ポンプで排気されます。RIEモードのプラズマ装置では、アルゴン原子が電離されてアルゴンイオンと電子になります。下部電極には加速領域であるイオンシースが発生しており、速度を増したアルゴンイオンが異物に衝突します。

DPモードは化学反応を利用して異物を取り除きましたが、RIEモードは物理的にアルゴンイオンを衝突させて弾き飛ばすという点に大きな違いがあります。

コメントを残す

メールアドレスが公開されることはありません。 * が付いている欄は必須項目です